X-tengely mérési tartománya: 0–200 mm

X-tengely pontossága: ±(0,6 + 0,015L/100) µm (L mm-ben megadva)

Z1-tengely mérési tartománya: ±25 mm

Z1-tengely felbontása: 0,001 µm

Z1-tengely pontossága: ±(0,6 + 0,05H) µm (H mm-ben megadva)

Szkennelési sebesség: 0,05–5 mm/s