X tengely mérési tartománya: 0–200 mm
Profilmérési pontosság:
Szögmérési pontosság: ≤1′
Z1 tengely kijelzési hibája: ≤±(0,5 + 0,03H) µm (H mm-ben)
Standard ív Pt pontossága: ≤±0,3 µm
Szkennelési sebesség: 0,05–5 mm/s
