X-tengely mérési tartománya: 0-100 mm 

X-tengely pontossága: ±(0,6 + 0,02L) µm (L mm-ben)

Z tengely mérési tartománya: ±30 mm

Z tengely felbontása: 0,001 µm

Z-tengely pontossága: ±(0,6 + 0,05H) µm (H mm-ben)

Szkennelési sebesség: 0,05–5 mm/s